THKは2008年4月から、三菱電機のサーボシステムネットワークの通信規格「SSCNET III」に対応したリニアモータアクチュエータの新製品「GLS20形」の販売を開始した。標準価格は、最大推力300N、スライダ1個、ベース長さ1,480mmの製品で55万円。年間1億円の売上高を見込む。

　GLS20形は、半導体・液晶パネル製造装置で高い採用実績を持つ「GLM20形」をベースにしている。稼働率向上や設備の高機能化・高精度化のための製造装置の集中管理に対応するため、三菱電機が光通信方式を採用して通信速度を50Mbpsまで高めたサーボシステムネットワークの通信規格「SSCNET III」に対応した。これにより、ドライバ同士での並列配線が可能となり、省配線化を実現できる。GLM20形と速度・加減速が同じで、最高速度が4m/秒、加減速は2G。高さ・幅・取付け位置など寸法についても、GLM20形と互換性がある。

　最大推力は、300N、600N、900N、1,200Nの4種類から選択可能で、ベース長さは400mm～2,200mm、ストロークは122mm～1,922mmまで対応する。リニアエンコーダは4社から選択することができる。