山武は、同社従来比で容積1/3、質量1/2、応答性5ミリ秒の世界最小、最軽量のマスフローセンサー「MCS200」を発売した。同社が2002年に発売したマスフローセンサーのMCS100は、同社独自のμFセンサーで世界最小の熱式質量流量センサーとして、チップマウンタ、ダイボンダ、テーピングマシンなどの電子部品実装装置で部品の吸着検出やガス検知・分析機の被計測流体吸引流量のモニタリングと制御、在宅酸素濃縮器の供給酸素流量制御などに使用されてきた。

　MCS200は、MCS100の5ミリ秒の高速応答性を損なわずに、重さが1/2の5g、容積で1/3となる28.2mm×10.0mm×11.8mm（取付ねじ部、コネクタ突起部を含む）のサイズを実現した。また、配管との接続は従来のねじ式ではなく、流路ブロックにガスケットを介して表面実装するマニホールド接続を採用し、接続継手と配管チューブ引き回しに必要なスペースを不要にした。これにより、電子部品実装装置の実装タクト時間を高速化するための移動ヘッド機構の小型軽量化、携帯型理化学機器や掌サイズのCPAP（睡眠時無呼吸症候群）治療器などの機動性向上が可能になる。

　さらにMCS200は、計測レンジごとに最適な流路口径を採用できるようにし、±5％FSだったMCS100の計測精度を同3％FSに向上した他、産業装置用のDC24Vと携帯機器のバッテリー駆動に対応するDC5Vの駆動電圧を利用可能にした。MCS200のサンプル価格は1台2万円で、主に電子部品実装装置、エアサンプラ、ガス分析計、酸素濃度計、在宅酸素濃縮器、内視鏡、マイクロ燃料電池などの用途に需要を見込んでいる。