「形 D6F　MEMSフローセンサ（クイックファスナタイプ）」は、定置型燃料電池システムの燃料ガスと空気の流量の最適化に利用する MEMSフローセンサ。パッケージ材料を従来の金属に代えて難燃性樹脂を採用したほか、配管接続を従来のねじ式から配管の容易なクイックファスナー式に変更することで工数費用の削減と作業の均一化を目指した。都市ガスや LPガスから水素を取り出す家庭用の定置型燃料電池システムで、燃料ガスと空気の流量を測定する用途に使用する。気体の流量センシングに用いる MEMSセンサーは、1.55mm角、厚さ 0.4mmと世界最小クラスで、1cm /秒以下の微流速計測が可能なほど高い感度を持つ。測定範囲は、都市ガスで 0. 5リットル/分、LPGで 0. 2リットル/分、空気で0. 20リットル/分。

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